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高精度数显光栅扭簧表比较仪

  • 更新日期:  2021-11-23
  • 产品型号:  5mm/0.0002mm
  • 简单描述
  • 高精度数显光栅扭簧表比较仪,分辨力为0.2μm,示值精度为1.5μm,重复性能达到0.6μm,和电感比较仪的精度差不多,适合用了对精度要求高的场合。可以用了比对测量薄膜,晶片等。
详细介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域医疗卫生,生物产业示值精度1.5μm

高精度数显光栅扭簧表比较仪

高精度数显光栅扭簧表比较仪

相关技术文献:

将被测长度先转换为光量,再转换为电量输出的传感器。常见的有光栅式、激光式、固体阵列式和光导纤维式等。激光式又可分为光波干涉式、扫瞄式和光强式等(见激光测长技术)。固体阵列传感器是70年代初期出现的一种图象传感器。固体阵列是一种线型或面型的光电转换元件。其中用得较多的是电荷耦合器件。它是一种在硅芯片的一面沉积栅电极结构的器件。栅电极和硅芯片间有一层约为0.1~0.12微米厚的 SiO 2透明绝缘层,形成电容阵列。由于栅电极可以透光,硅芯片是一种光敏材料,当光照射在其上时,在内部产生电荷载流子,并被收集和存储在硅芯片的势阱中。势阱是当在栅电极上加正电压时,在电场的作用下,与电极相邻的硅芯片表面的正电荷被推离后形成的一个耗尽层。存储在势阱中的电荷载流子,在适当的时候会穿透芯片,经电荷放大器后输出。势阱是芯片中的分立单元,其分辨率可达0.01毫米或更高。将被测尺寸、图象等以光扫描或投影等方法投射在电荷耦合器件上时,光信号即转换为电信号输出,经电路处理后即可得到被测尺寸等的量值。固体阵列传感器适用于小型复杂形状工件的多尺寸自动测量。一次投影或光扫描可以测量几十个尺寸。光导纤维传感器主要用于测量微小位移和精密定位。

分辨率

在测定对象物静止时,以距离来换算线性输出的摆动幅度,区别在数字输出时数据偏差的幅度和分辨率,称为重复精度。

响应时间

物体的位移和宽度是在步进变化时的线性输出。为了使模拟输出在10~90%内变化,以「响应时间」来表现所需的时间。





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